更新时间：2026-08-17 17:22:47
求解答，词语「光掩膜」是什么意思？再说说光掩膜有什么含义？
在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到晶圆（wafer）制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价最高的一部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一。
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